POWER SUPPLY
Microwave Plasma Power Supply
제품 개요
반도체 및 OLED 제조공정의 Waste Gas를 처리하기 위한 Microwave Plasma Wet Scrubber에 사용.
Type | 대기압 Microwave Plasma Power Supply |
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Model | MP-2700,MP-4000 |
용량 | 3kW / 4Kw (정격출력전압 ; 3800VDC) |
Dimension | 3,100 (w) × 4,400 (d) × 150 (h) |
제품 특징
- Microprocess와 High Frequency Full Bridge Inverting Technology에 의한 마그네트론 전력제어
- 운전전압,전류 및 Error Code를 Display Unit에 표시
- 수냉 및 공냉을 겸한 냉각으로 제품 수명향상
- RS232C /RS485/ Dry Contact에 의한 다양한 Interface 가능