TECHNOLOGY JOINT SERVICE

POWER SUPPLY

Microwave Plasma Power Supply

Microwave Plasma Power Supply
Microwave Plasma Power Supply
Microwave Plasma Power Supply
Microwave Plasma Power Supply
제품 개요

반도체 및 OLED 제조공정의 Waste Gas를 처리하기 위한 Microwave Plasma Wet Scrubber에 사용.

Type 대기압 Microwave Plasma Power Supply
Model MP-2700,MP-4000
용량 3kW / 4Kw (정격출력전압 ; 3800VDC)
Dimension 3,100 (w) × 4,400 (d) × 150 (h)
제품 특징
  • Microprocess와 High Frequency Full Bridge Inverting Technology에 의한 마그네트론 전력제어
  • 운전전압,전류 및 Error Code를 Display Unit에 표시
  • 수냉 및 공냉을 겸한 냉각으로 제품 수명향상
  • RS232C /RS485/ Dry Contact에 의한 다양한 Interface 가능