POWER SUPPLY
용도 및 특장점
- 반도체 및 OLED 제조공정의 Waste Gas를 처리하기 위한 Plasma Wet Scrubber에 사용.
- Microprocess 와 독자적인 High Frequency Inverting technology에 의한 고효율의 전력변환
- 정전류 제어방식에 의한 정밀한 출력제어
- 운전 전류, 전압 및 Error code 를 Display unit 에 표기.
- 수냉 및 공냉을 겸한 냉각으로 제품 수명 향상.
- RS232, 485 / Dry contact 등 다양한 Interface 가능.
- 고객 요구에 따른 다양한 Size 의 모델 공급 가능
23Kw Plasma Power Supply
Contents |
Unit |
Specification |
Main Power |
V |
Ф3 220VAC |
Main Power Frequency |
Hz |
50 / 60 |
Capacity [Max] |
KW |
40 |
Max Load Current [Max] |
A |
150 |
Max Open Load Voltage |
VDC |
>600 |
Rated Load Voltage [Max] |
VDC |
<400 |
HFHV |
V |
>10,000 |
Dimension (W x D x H) |
mm |
230 x 550 x 440 |
power conversion efficiency |
% |
88% |
Communication |
- |
RS232, 485 / Dry Contact |