POWER SUPPLY
용도 및 특장점
- 반도체 및 OLED 제조공정의 분진(Powder)을 처리하기 위해 P.O.U(Point-Of-Use) Scrubber에 적용.
- Microprocess 에 의한 안정적 출력제어
- 출력전압 자동제어 기능으로 Arc 발생 억제 및 포집효율 극대화
- 운전 전류, 전압 및 Error code 를 Display unit 에 표기.
- Dry contact 및 Analog Signal 에 의한 다양한 Interface 가능.
- 부하의 변동에 따른 전위가 발생하는 것을 감지하여, 20mS 내에 출력을 자동 차단함
EP Power Supply
| Contents | Unit | Specification |
|---|---|---|
| Main Power | V | 1Phase 220VAC |
| Main Power Frequency | Hz | 50 / 60 |
| Capacity [Max] | W | 60 |
| Max Output Current | mA | 24 |
| Max Output Voltage | V | -27kV (Negative) |
| Dimension (W x D x H) | mm | 290 x 185x 185 |
| Communication | - | Analog Signal/ Dry Contact |