POWER SUPPLY
용도 및 특장점
- 반도체 및 OLED 제조공정의 Waste Gas를 처리하기 위한 Plasma Wet Scrubber에 사용.
- Microprocess와 High Frequency Full Bridge Inverting Technology에 의한 마그네트론 전력제어
- 운전 전류, 전압 및 Error code 를 Display unit 에 표기.
- 수냉 및 공냉을 겸한 냉각으로 제품 수명 향상.
- RS232, 485 / Dry contact 등 다양한 Interface 가능.
Microwave Plasma Power Supply
| Contents |
Unit |
Specification |
| Main Power |
V |
1Phase 220VAC |
| Main Power Frequency |
Hz |
50 / 60 |
| Capacity [Max] |
kW |
2.5 |
| Max Load Current [Max] |
mA |
600 |
| Max Open Load Voltage |
VDC |
15k ±5% |
| Rated Load Voltage [Max] |
VDC |
3900 |
| Dimension (W x D x H) |
mm |
310 x 440 x 150 |
| Communication |
- |
RS232, 485 / Dry Contact |
